封止材料の洗浄品質は、後工程の安定性と製品信頼性に直結します。 より厳格な粒子清浄度および化学残留ゼロ基準への対応、そしてカーボンニュートラルやESGなど持続可能な製造への移行が求められる中、従来の炭化水素系開放式洗浄や、高リスクなジクロロメタン溶剤の使用は段階的に廃止されています。

MAFAC MALTA 水系洗浄装置は、EUVリソグラフィ用の非光学部品および関連部品の洗浄に適しており、クリーンルームおよび真空環境、さらに真空条件外での運用にも対応しています。

Eco-lander（Eco-lander（エコランダー））は、ドイツ製密閉式真空洗浄装置および溶剤リースサービスを通じて、上銀科技（HIWIN Technologies）が溶剤を効率的かつ持続的に再利用できるよう支援し、廃棄物の発生および環境・人への影響を大幅に削減しました。