Eco-lander（エコランダー）、ドイツ製真空密閉洗浄装置の導入により、持続可能な製造プロセスの新基準を確立
封止材料の洗浄品質は、後工程の安定性および製品信頼性に直結しており、より厳格な粒子清浄度や化学残留ゼロの基準への対応が求められています。さらに、カーボンニュートラルやESGなど、持続可能な製造への移行が進む中、従来の炭化水素系開放式洗浄や、高リスクなジクロロメタン溶剤の使用は段階的に廃止されています。
成功案例分類 (日): 設備販売
MAFAC MALTA – EUV要件に対応する高精度洗浄能力
MAFAC MALTA 水系洗浄装置は、EUVリソグラフィ用の非光学部品および関連部品の洗浄に適しており、クリーンルームおよび真空環境、さらに真空条件外での運用にも対応しています。
「HIWIN TECHNOLOGIES CORP.」― 溶剤の効率的かつ循環的な利用により、環境および作業者への負荷を低減
Eco-lander（エコランダー）は、ドイツ製密閉式真空洗浄装置および溶剤リースサービスを通じて、上銀科技（HIWIN Technologies）が溶剤を効率的かつ持続的に再利用できるよう支援し、廃棄物の発生および環境‧人への影響を大幅に削減しました。